Passat ٻارڻ عام ريل پريشر سينسر 06E906051K تي لاڳو

1. پريشر سينسر ٺاهڻ جو طريقو، جنهن ۾ شامل آهن:

سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽرٽ مهيا ڪرڻ، جنهن ۾ پهريون انٽرليئر ڊائليڪٽرڪ پرت، پهريون انٽرليئر ڊائليڪٽرڪ پرت ۽ ٻيو انٽرليئر ڊائليڪٽرڪ پرت سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽريٽ تي ٺهيل آهي.

هڪ هيٺين اليڪٽرروڊ پليٽ پهرين انٽرليئر ڊائليڪٽرڪ پرت ۾، هڪ پهريون باهمي اليڪٽرروڊ ساڳئي پرت تي واقع آهي جيئن هيٺين اليڪٽرروڊ پليٽ ۽ جدا جدا.

ڳنڍيندڙ پرت؛

هيٺئين پولر پليٽ جي مٿان قرباني واري پرت ٺاهڻ؛

پهرين interlayer dielectric پرت تي هڪ اپر اليڪٽرروڊ پليٽ ٺاهيندي، پهرين interconnection پرت ۽ قرباني واري پرت؛

قرباني واري پرت کي ٺهڻ کان پوءِ ۽ مٿئين پليٽ کي ٺهڻ کان اڳ، پهرين ڪنيڪشن پرت ۾

ڪنيڪشن گروو ٺاهڻ، ۽ ڪنيڪشن گروو کي ڀرڻ لاءِ مٿين پليٽ سان برقي طور تي پهرين انٽر ڪنيڪشن پرت سان ڳنڍڻ؛ يا،

اپر اليڪٽرروڊ پليٽ ٺاھڻ کان پوءِ، اپر اليڪٽرروڊ پليٽ ۾ ڳنڍڻ وارا گرووز ٺھي ويندا آھن ۽ پھريون ڪنيڪشن پرت، جيڪو

مٿين اليڪٽرروڊ پليٽ کي ڳنڍيندڙ هڪ conductive پرت ٺاهيندي ۽ ڪنيڪشن گروو ۾ پهرين ڪنيڪشن پرت؛

بجليءَ سان مٿئين پليٽ کي ڳنڍڻ کان پوءِ ۽ پهرين ڪنيڪشن واري پرت، قرباني واري پرت کي هٽائي هڪ گفا ٺاهي.

2. دعوي 1 جي مطابق هڪ پريشر سينسر ٺاهڻ جو طريقو، جنهن ۾ پهرين پرت ۾

انٽرليئر ڊائلٽرڪ پرت تي قرباني واري پرت ٺاهڻ جو طريقو هيٺين مرحلن تي مشتمل آهي:

پهرين interlayer dielectric پرت تي هڪ قرباني مواد پرت جمع؛

قرباني واري مواد جي پرت کي ترتيب ڏيڻ لاءِ قرباني واري پرت ٺاهڻ.

3. دعويٰ 2 مطابق پريشر سينسر ٺاھڻ جو طريقو، جنھن ۾ ڦوٽو ليٿوگرافي ۽ نقاشي استعمال ڪئي ويندي آھي.

قرباني جي مواد جي پرت کي خاڪي جي عمل جي نموني سان ٺهيل آهي.

4. دعويٰ 3 مطابق پريشر سينسر ٺاھڻ جو طريقو، جنھن ۾ قرباني واري پرت

مواد بيڪار ڪاربان يا جرميميم آهي.

5. دعويٰ 4 مطابق پريشر سينسر ٺاھڻ جو طريقو، جنھن ۾ قرباني واري پرت

مواد amorphous ڪاربان آهي؛

ايچنگ گيسز جيڪي قرباني جي مواد جي پرت کي ايچنگ جي عمل ۾ استعمال ڪن ٿيون شامل آهن O2، CO، N2 ۽ Ar؛

قرباني واري مواد جي پرت کي ڇڪڻ جي عمل ۾ پيرا ميٽرز هي آهن: O2 جي وهڪري جي حد 18 SCCM ~ 22 SCCM آهي، ۽ CO جي وهڪري جي شرح 10٪ آهي.

وهڪري جي شرح 90 SCCM کان 110 SCCM تائين، N2 جي وهڪري جي شرح 90 SCCM کان 110 SCCM تائين، ۽ Ar جي وهڪري جي شرح.

حد 90 SCCM ~ 110 SCCM آهي، دٻاء جي حد 90 mtor ~ 110 mtor آهي، ۽ تعصب جي طاقت آهي

540w ~ 660w.