انجڻ پريشر سينسر 2CP3-68 1946725 ڪارٽر ايڪسائيٽر لاءِ

هڪ پريشر سينسر تيار ڪرڻ جو طريقو، جنهن ۾ هيٺيان قدم شامل آهن:

S1، پوئتي مٿاڇري ۽ سامهون واري مٿاڇري سان ويفر مهيا ڪندي؛ويفر جي سامهون واري مٿاڇري تي هڪ پائيزورسسٽي پٽي ۽ هڪ تمام گهڻو ڊپ ٿيل رابطي واري علائقي کي ٺاهيندي؛ويفر جي پوئين مٿاڇري کي ايچنگ ڪندي هڪ پريشر گہرا گفا ٺاهيندي؛

S2، ويفر جي پٺي تي هڪ سپورٽ شيٽ جو تعلق؛

S3، ويفر جي سامهون واري پاسي تي ليڊ هول ۽ ڌاتو جي تارن کي ٺاهيندي، ۽ پيزورسسٽيوٽ اسٽرپس کي ڳنڍڻ لاءِ Wheatstone پل ٺاهڻ؛

S4، ويفر جي سامهون واري مٿاڇري تي هڪ پاسوائيشن پرت کي جمع ڪرڻ ۽ ٺاهيندي، ۽ پاسوائيشن پرت جي افتتاحي حصي کي هڪ ڌاتو پيڊ ايريا ٺاهڻ لاء.2. دعويٰ 1 جي مطابق پريشر سينسر جو ٺاھڻ جو طريقو، جنھن ۾ S1 خاص طور تي ھيٺين مرحلن تي مشتمل آھي: S11: ھڪڙي ويفر کي پٺتي ۽ سامهون واري مٿاڇري سان مهيا ڪرڻ، ۽ ويفر تي پريشر حساس فلم جي ٿلهي کي بيان ڪرڻ؛S12: آئن امپلانٽيشن کي ويفر جي سامهون واري مٿاڇري تي استعمال ڪيو ويندو آهي، piezoresistive strips هڪ تيز گرمي پد جي ڦهلائڻ واري عمل ذريعي ٺاهيا ويندا آهن، ۽ رابطي جي علائقن کي تمام گهڻو ڊپ ڪيو ويندو آهي.S13: ويفر جي سامهون واري مٿاڇري تي هڪ حفاظتي پرت جمع ڪرڻ ۽ ٺاهيندي؛S14: ايچنگ ڪرڻ ۽ ويفر جي پٺيءَ تي دٻاءُ واري گہرائي کي ٺاهڻ لاءِ دٻاءُ واري حساس فلم ٺاهڻ.3. دعوى 1 جي مطابق پريشر سينسر جي پيداوار جو طريقو، جنھن ۾ ويفر SOI آھي.

1962 ۾، ٽفٽ ۽ ٻيا.پهريون ڀيرو diffused silicon piezoresistive strips ۽ silicon film structure سان هڪ piezoresistive پريشر سينسر تيار ڪيو، ۽ piezoresistive pressure sensor تي تحقيق شروع ڪئي.1960ع جي ڏهاڪي جي آخر ۽ 1970ع واري ڏهاڪي جي شروعات ۾، ٽي ٽيڪنالاجيون ظاهر ٿيون، يعني سلڪون اينسوٽروپيڪ ايچنگ ٽيڪنالاجي، آئن امپلانٽيشن ٽيڪنالاجي ۽ انوڊڪ بانڊنگ ٽيڪنالاجي، پريشر سينسر ۾ وڏيون تبديليون آيون، جن پريشر سينسر جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪيو. .1980s کان وٺي، مائڪرو مشيننگ ٽيڪنالاجي جي وڌيڪ ترقي سان، جهڙوڪ anisotropic etching، lithography، diffusion doping، ion implantation، bonding and coating، پريشر سينسر جي سائيز کي مسلسل گھٽايو ويو آھي، حساسيت کي بھتر ڪيو ويو آھي، ۽ پيداوار اعلي آھي ۽ ڪارڪردگي شاندار آهي.ساڳئي وقت، نئين micromachining ٽيڪنالاجي جي ترقي ۽ ايپليڪيشن کي دٻاء سينسر جي فلم جي ٿلهي کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪري ٿو.